中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2026年5至12月政府采购意向-金属有机物化学气相沉积系统

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拟采购*台金属有机物化学气相沉积系统（MOCVD），用于支撑半导体显示材料与芯片重点实验室开展高均匀性、高质量氮化镓激光器材料外延生长实验。氮化镓激光器的光效和寿命与外延材料中的杂质等点缺陷密切相关。对MOCVD设备而言，高温生长会导致反应室器壁和生长托盘上沉积较厚的AlN、AlGaN、GaN等覆盖物，由于Al-N和Ga-N等化学键较强，******杂质很难通过高温烘烤的方式有效去除，从而在每次高温外延生长GaN激光器材料时，这些残留的覆盖物持续分解，导致外延薄膜中产生大量非故意杂质与颗粒物，从而严重影响氮化镓激光器的光效、串联电阻和电压，进而影响氮化镓激光器的输出光功率与寿命。