中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2026年5至12月政府采购意向-表面缺陷检测仪

A********光学式分析仪器

拟采购*台表面缺陷检测仪，该仪器是半导体显示材料与芯片重点实验室建设必备的*、*寸外延材料表面缺陷的检测设备。主要用于大尺寸氮化镓、砷化镓等晶圆表面的缺陷快速检测与分类，灵敏检测影响Micro-LED外延片良率的缺陷密度和分布，以非破环性方式对晶圆面的残留异物、表面与表面下缺陷大小和形状、薄膜******检测，为高质量、高波长*致性的氮化镓基Micro-LED外延生长提供快速反馈。